1.独特冷却结构
三段进水式冷却结构让主轴热伸长稳定后(20min内),热伸长变化量在1μm以内,实现加工零件表面粗糙度Ra≤20nm。
2.高刚度、高精度轴系设计
专为此类超精密气浮主轴设计的气浮轴承保证了主轴轴向、径向刚度达到40N/μm以上,轴芯采用飞盘后置式结构保证主轴转动时加工稳定性。
3.稳定转动系统
独特主轴转动系统的设计,保证主轴转动时稳定性,在转动过程中保证振动≤0.2mm/s。
1.独特冷却结构
三段进水式冷却结构让主轴热伸长稳定后(20min内),热伸长变化量在1μm以内,实现加工零件表面粗糙度Ra≤20nm。
2.高刚度、高精度轴系设计
专为此类超精密气浮主轴设计的气浮轴承保证了主轴轴向、径向刚度达到40N/μm以上,轴芯采用飞盘后置式结构保证主轴转动时加工稳定性。
3.稳定转动系统
独特主轴转动系统的设计,保证主轴转动时稳定性,在转动过程中保证振动≤0.2mm/s。
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